真(zhen)空(kong)炉(lu)的(de)真(zhen)空(kong)系(xi)统(tong)结(jie)构是影响(xiang)真(zhen)空(kong)系(xi)统(tong)密(mi)封性和系(xi)统(tong)漏(lou)气率的(de)关(guan)键，真(zhen)空(kong)系(xi)统(tong)的(de)结(jie)构合理与否，将直接影响(xiang)系(xi)统(tong)的(de)密(mi)封性和系(xi)统(tong)的(de)漏(lou)气率。如(ru)何解(jie)决真(zhen)空(kong)炉(lu)的(de)的(de)漏(lou)气问题是大家都(dou)比(bi)较关(guan)心的(de)问题。

研博炉(lu)(lu)业通(tong)过(guo)(guo)从真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空炉(lu)(lu)炉(lu)(lu)体(ti)设计、密(mi)封类型、密(mi)封材料、密(mi)封结构等方面(mian)入手以使(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空炉(lu)(lu)达到更(geng)高的(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空炉(lu)(lu)更(geng)小的(de)漏气(qi)(qi)率(lv)。首先(xian)就(jiu)是尽可能地避(bi)免(mian)出现(xian)小曲率(lv)半径的(de)死角。其(qi)次抽空管(guan)道、送气(qi)(qi)管(guan)道等与真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空室相(xiang)连接的(de)管(guan)道，都(dou)利用圆弧过(guo)(guo)渡(du)，使(shi)气(qi)(qi)路畅(chang)通(tong)无阻。真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空室内各种连接件的(de)结构都(dou)经过(guo)(guo)精密(mi)设计，使(shi)气(qi)(qi)路畅(chang)通(tong)，避(bi)免(mian)气(qi)(qi)路堵塞。表(biao)面(mian)越光亮就(jiu)越不易气(qi)(qi)体(ti)吸附，为了(le)更(geng)好的(de)获(huo)得真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空度真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空系统内表(biao)面(mian)都(dou)经过(guo)(guo)打磨(mo)抛光。最好以下三个(ge)方面(mian)的(de)选(xuan)择可解决真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空炉(lu)(lu)的(de)漏气(qi)(qi)难题

一、密封类型的选择

真(zhen)空炉密(mi)(mi)封(feng)(feng)类(lei)型(xing)(xing)可根据用(yong)(yong)户所需(xu)(xu)(xu)真(zhen)空度(du)的高(gao)低(di)及实际(ji)工作(zuo)需(xu)(xu)(xu)要选(xuan)择密(mi)(mi)封(feng)(feng)类(lei)型(xing)(xing)，对于(yu)人(ren)工晶(jing)体生长设备(bei)，一(yi)般需(xu)(xu)(xu)要的真(zhen)空度(du)在lO-3Pa以下，因此，无需(xu)(xu)(xu)利用(yong)(yong)金属(shu)密(mi)(mi)封(feng)(feng)。以TDR--70型(xing)(xing)单晶(jing)炉为(wei)例，我(wo)们选(xuan)择磁性流体密(mi)(mi)封(feng)(feng)作(zuo)为(wei)旋转动密(mi)(mi)封(feng)(feng)，选(xuan)择高(gao)精度(du)大(da)伸缩量的焊(han)接波纹管(guan)进行移动密(mi)(mi)封(feng)(feng)，小直径轴(zhou)的旋转密(mi)(mi)封(feng)(feng)选(xuan)用(yong)(yong)“O”型(xing)(xing)密(mi)(mi)封(feng)(feng)圈或威尔逊密(mi)(mi)封(feng)(feng)，各种静密(mi)(mi)封(feng)(feng)则利用(yong)(yong)“0”型(xing)(xing)密(mi)(mi)封(feng)(feng)圈密(mi)(mi)封(feng)(feng)类(lei)型(xing)(xing)，直径压(ya)缩比为(wei)25％。

二、密封件材(cai)质(zhi)的选用

真(zhen)(zhen)空炉真(zhen)(zhen)空度(du)(du)(du)(du)在lO-3Pa以下的(de)真(zhen)(zhen)空系(xi)统(tong)，密(mi)封(feng)(feng)(feng)材料(liao)一般选择(ze)橡胶密(mi)封(feng)(feng)(feng)圈即可满足(zu)需(xu)(xu)求(qiu)。但是，考虑到实(shi)际(ji)工作条件的(de)需(xu)(xu)要(真(zhen)(zhen)空室内温度(du)(du)(du)(du)最高可达2300oC，密(mi)封(feng)(feng)(feng)部位进行水冷后，其温度(du)(du)(du)(du)在80oC左右，个别处(chu)温度(du)(du)(du)(du)可达100oC以上(shang))。因(yin)此，要选择(ze)比较理(li)想的(de)密(mi)封(feng)(feng)(feng)圈材料(liao)。用(yong)于真(zhen)(zhen)空密(mi)封(feng)(feng)(feng)橡胶材料(liao)，除(chu)需(xu)(xu)求(qiu)具有光洁表(biao)面、无划伤、无裂纹(wen)外，还(hai)需(xu)(xu)求(qiu)有低(di)的(de)渗透(tou)率(lv)和出气率(lv)，良好的(de)耐热性(xing)耐油性(xing)，同时要有一定的(de)强度(du)(du)(du)(du)、硬度(du)(du)(du)(du)和弹(dan)性(xing)等。

三、密封结(jie)构的选择：

真(zhen)(zhen)(zhen)空炉的(de)(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空系统中，80%以(yi)(yi)上(shang)的(de)(de)(de)(de)密(mi)封(feng)(feng)为静(jing)密(mi)封(feng)(feng)，静(jing)密(mi)封(feng)(feng)效果(guo)的(de)(de)(de)(de)好坏，对系统的(de)(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空度及漏气率有很(hen)大的(de)(de)(de)(de)影响。因此(ci)，真(zhen)(zhen)(zhen)空炉设备的(de)(de)(de)(de)密(mi)封(feng)(feng)结构都进行(xing)认真(zhen)(zhen)(zhen)设计，以(yi)(yi)达到理想的(de)(de)(de)(de)效果(guo)。对密(mi)封(feng)(feng)结构的(de)(de)(de)(de)设计，重点考虑如(ru)何选择(ze)重点密(mi)封(feng)(feng)面(mian)、如(ru)何减小残留气体(ti)及如(ru)何充分(fen)发挥橡胶密(mi)封(feng)(feng)圈功(gong)能等方面(mian)。

以上(shang)就是(shi)研博炉业总结的(de)真(zhen)空炉漏气问题的(de)解决方案(an)，防(fang)患于未然是(shi)最好的(de)解决问题的(de)方案(an)，在真(zhen)空炉工作(zuo)过程中再出现(xian)漏气现(xian)象就不是(shi)小(xiao)问题了(le)，甚至给用户带(dai)来(lai)重大(da)损(sun)失。所以用户选(xuan)择(ze)真(zhen)空炉设备(bei)时一定要(yao)选(xuan)择(ze)可靠的(de)厂家，从源头上(shang)杜绝问题，才是(shi)明智的(de)选(xuan)择(ze)。